VBA SeleniumでChromeが起動しない

以前は、VBAにてSeleniumを実行しChromeの起動、自動制御が出来たのですが、
久しぶりにマクロを実行したところ、Chromeが起動せず、何もエラーも出ず、
Excel自体が落ちてしまいました。

簡単なコードでもブラウザの起動が出来ず、Excelが落ちてしまいます。
試しにchromeからEdgeに切り替えてみましたが結果は同じでした。

■環境
・Windows10
・Office 365
・コード

VB
1Sub sample()
2  Dim Driver As New Selenium.WebDriver
3 '■chromeを起動
4 Driver.Start "chrome"　'←この処理を実行中にExcelが落ちてしまう。
5 Driver.Get "http://google.co.jp/"
6End Sub

■確認した内容
・chromeのバージョンとchromedriverのバージョンは同一にしている。
＞chrome：バージョン: 101.0.4951.64
＞chromedriver：Starting ChromeDriver 101.0.4951.41
・chromedriverは以下の場所に配置済み。
＞%LOCALAPPDATA%\SeleniumBasic
・SeleniumBasicを再インストールし、driverを入れ替え直しましたが、同じ結果でした。
・.NET Framework 3.5 SP1がインストールされている事は確認済み。
・VBAの参照設定は「Selenium Type Library」にチェックを入れている。
・Driver.SetBinaryで上記CromeDriverのパス指定、またはChrome.exeのパス指定もしてみたが同じでした。
・「\SeleniumBasic\Scripts」内にある「StartChrome.vbs」を実行すると、Chromeが自動で立ち上がり
「Click OK to quit」が返ってくるので、Selenium自体は問題なさそう。
・Excelが落ちた際、イベントビューアのApplicationログを確認したところ、以下のエラーあり。
- Provider
[ Name] .NET Runtime
- EventID 1023
- EventData
.NET Runtime version 2.0.50727.9164 - 致命的な実行エンジンエラーが発生しました